真空爐石墨發熱元件的測驗過程需兼顧電氣功能、熱穩定性及真空環境適配性，確保其在高溫度梯度、低氣壓工況下的牢靠運行。以下是體系化的測驗流程及關鍵操控點：
一、測驗前準備
1.元件預處理
清潔處理
    超聲清洗（40kHz，30分鐘）去除加工殘留石墨粉，使用無水乙醇（純度≥99.7%）沖洗。
    外表噴涂酒精松香混合液（份額1:20），增強電極接觸面導電性。
目視查看
    裂紋檢測：10倍放大鏡調查外表，裂紋長度＞0.5mm或深度＞0.2mm即斷定不合格。
    幾許尺度：三坐標丈量關鍵尺度（長度±0.1mm，直徑±0.05mm）。
2.環境搭建
    真空體系：確保極限真空，配備分子泵+機械泵組。
測溫體系：
    接觸式：鎢錸熱電偶（C型，精度±1.5℃）嵌入元件外表溝槽（深度2mm）。
    非接觸式：雙色紅外測溫儀（波長1.6μm，ε=0.85校準）。
    安全防護：防爆調查窗、應急氮氣吹掃體系（流量≥50L/min）。
二、電氣功能測驗
1.冷態電阻測驗
參數 測驗辦法
直流電阻 四線法微歐計丈量（電流100A，壓降＜0.1V），誤差≤±3%（與設計值比照）。
電阻均勻性 沿發熱體長度方向等距取5點丈量，極差≤5%。
絕緣電阻 2500V兆歐表測驗元件與爐體絕緣，冷態≥100MΩ，熱態（800℃）≥10MΩ。
2.通電特性測驗
啟動電流沖擊：
    施加1.2倍額定電壓持續10秒，查看電弧或局部發紅現象。
功率-電壓曲線：
    階梯升壓（每步10%額定電壓），記錄穩態功率（非線性度≤8%）。
三、熱功能測驗
1.空載升溫測驗
測驗階段 操控參數 驗收規范
低溫段（RT~800℃） 升溫速率≤10℃/min 電阻改變率ΔR/R2≤3%
中溫段（800~1500℃） 穩態溫度動搖±5℃（PID自整定后） 紅外熱像儀檢測溫差≤2%（軸向）
高溫段（＞1500℃） 極限溫度堅持1小時 外表氧化失重率≤0.1mg/cm2（稱重法）
2.帶載熱場驗證
均勻性測驗：
    裝載規范Al2O2坩堝（熱容模擬），9點測溫法驗證溫區均勻性（ΔT≤15℃）。
熱呼應測驗：
    設定溫度階躍改變（如1200℃→1400℃），超調量≤3%，穩定時間≤15分鐘。
四、真空環境適配性測驗
1.放氣率檢測
    升溫至工作溫度后關閉真空泵，記錄壓力上升曲線。
2.真空電弧抑制
    人為制造局部微漏（壓力突升至1Pa），調查是否產生持續電弧（答應瞬時放電＜1ms）。
五、極限工況測驗
測驗項 條件 合格規范
過載才能 1.5倍額定功率持續30分鐘 無結構變形，冷卻后電阻改變≤2%
熱循環疲勞 100次室溫?1500℃循環（速率10℃/min） 裂紋擴展長度≤0.1mm（浸透探傷檢測）
驟冷實驗 高溫狀態通入液氮冷卻（速率50℃/s） 外表無脫落，電阻動搖≤5%
六、測驗數據剖析與陳述
1.關鍵功能曲線
    電阻-溫度曲線：繪制R-T關系圖，驗證是否符合設計公式（一般為二次多項式擬合）。
    熱效率曲線：核算輸入電能與輻射熱量的比值（方針≥75%）。
2.缺點斷定規范
    致命缺點：呈現貫穿性裂紋、絕緣失效、穩態溫差＞10%。
    細微缺點：外表細微氧化（失重率0.05~0.1mg/cm2）、電阻誤差3~5%。
3.測驗陳述內容
    原始數據記錄表（含時間-溫度-真空度同步曲線）。
    熱像圖與應力分布云圖（有限元剖析比照）。
    壽命預測模型（根據Arrhenius方程核算高溫下的預期壽命）。
七、測驗后處理
    外表修正：細微氧化層用2000目砂紙手工打磨，恢復外表粗糙度Ra≤1.6μm。
    存儲條件：枯燥氮氣柜（露點≤-40℃），避免吸潮導致電阻漂移。
    經過上述體系化測驗，可全面評估石墨發熱元件的歸納功能。對于半導體級使用，主張增加質譜剖析（檢測高溫下揮發物）與晶相結構檢測（XRD驗證石墨化度≥98%）。測驗周期一般為5-7天，具體取決于工況復雜度。