真空爐的作業環境(高溫、低氣壓、潔凈要求)對資料是 “終極檢測”,而石墨制品的3大特性完美適配:
耐超高溫+尺寸安穩,金屬和陶瓷都 “認輸”
真空爐的工藝溫度常達1200-2000℃,金屬發熱體(如鉬、鎢)在 1600℃以上會軟化變形,陶瓷載具(如氧化鋁)在急冷急熱時會迸裂,而高純石墨(固定碳≥99.9%)在2800℃以下功能安穩,熱膨脹系數僅是金屬的 1/10)。某航空資料廠的測驗顯現,石墨發熱體在1800℃真空環境下接連作業100小時,電阻改變率僅2%,而鎢絲發熱體達15%。
化學慵懶強,不污染工件,潔凈度達 “半導體級”
真空環境下,資料的蒸發物會直接污染工件(如硅片表面若有0.1μm 雜質,就或許導致芯片失效)。石墨在1600℃以下的蒸發率<0.01%,且不與金屬、半導體資料反應(如不與硅、鈦、鎳產生化學反應)。而陶瓷中的氧化物(如 Al2O2)或許開釋氧原子,金屬則會蒸發產生金屬粉塵,均無法滿足半導體級潔凈度要求。
導電導熱可控,適配多樣化工藝需求
石墨的電阻率可通過純度調整,既能做發熱體(低電阻),又能做絕緣載具(表面氮化處理后絕緣);導熱系數是陶瓷的5-10倍(150-200W/m2K),能讓工件受熱均勻(溫差≤5℃),這是真空燒結中確保產品一致性的要害。
想要了解更多真空爐的內容,可聯系從事真空爐多年,產品經驗豐富的滑小姐:13500098659。
